講演抄録/キーワード |
講演名 |
2010-01-26 14:50
超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の音響関連物理定数の決定 櫛引淳一・○大橋雄二・荒川元孝・田中智也・吉田 翔・高麗友輔・坂上 登(東北大) US2009-109 |
抄録 |
(和) |
水熱合成法により育成された、低抵抗および高抵抗の(001)、(100)、(101)ZnO試料を用いて、超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術によりZnOに対する精密な音響関連物理定数を求めた。適切な試料あるいはバルク波音速測定に適した測定位置を確定するために、水を負荷した試料表面を伝搬する漏洩弾性表面波(LSAW)の速度を用いた評価を通して、多くの小さなZnO結晶の中から試料を選択した。以前に開発した決定手順にしたがって、バルク波音速の測定値を用いて定数を決定した。その精度は、LSAW速度の測定値と決定した定数を用いた計算値との比較によって見積り、その結果は3.1 m/s以内であった。本研究を通してZnO結晶に対してどのようにUMS技術を適用するかの実験的な手順を確立した。 |
(英) |
A new set of acoustical physical constants for ZnO was obtained by ultrasonic microspectroscopy (UMS) using very conductive and resistive (001), (100), and (101)ZnO specimens, grown by the hydrothermal method. The specimens were selected from a lot of small ZnO crystals evaluated with the velocity of leaky surface acoustic waves (LSAWs) on a water-loaded specimen surface, in order to identify proper specimens or proper measurement positions for bulk-wave velocity measurements. The constants were determined with measured bulk-wave velocities, according to the determination procedures developed previously. Their accuracies were estimated by comparing the measured LSAW velocities with the calculated ones using the determined constants, within 3.1 m/s. We established experiment procedures to apply our UMS technology to ZnO crystals in this study. |
キーワード |
(和) |
ZnO単結晶 / 音響関連物理定数 / 抵抗率分布 / 超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / バルク波音速 / 漏洩弾性表面波速度 / / |
(英) |
ZnO single crystal / Acoustical physical constants / Resistivity distribution / Ultrasonic microspectroscopy / Bulk wave velocities / Leaky surface acoustic wave velocity / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 388, US2009-109, pp. 123-128, 2010年1月. |
資料番号 |
US2009-109 |
発行日 |
2010-01-18 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
US2009-109 |