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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-11-19 18:00 GaN系表面ナノ構造光検出器 ○張 晶・直井美貴・酒井士郎（徳島大）・深野敦之・田中 覚（SCIVAX）  ED2009-146 CPM2009-120 LQE2009-125 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2009-146 CPM2009-120 LQE2009-125 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | Conventional photodetector can detect intensity of incident light by voltage or current, but it is not intensive to the change of incident angle or wavelength. In this work, we demonstrate the fabrication method of a GaN-based nanostructure photodetector using nanoimprint lithography (NIL). The nanopattern is regular triangles consisting of columns, whose diameter and pitch are 150 and 300 nm, respectively. The photovoltage between p- and n-layers of this type of photodetector showed 6 or 12 periods when the incident illumination angles were changed on the surface or back side. Using the characteristics, this type of photodetector can find out the change of incidence angle or the change of wavelength of incident light. We demonstrate the principle of this type of photodetector using effective refractive index of the nanocolumn and air on the surface. At last possible applications in future are given. | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | GaN / nanostructure / photodetector / Nanoimprint / Lithography / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 290, LQE2009-125, pp. 85-89, 2009年11月. | |
| 資料番号 | LQE2009-125 | |
| 発行日 | 2009-11-12 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-146 CPM2009-120 LQE2009-125 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2009-146 CPM2009-120 LQE2009-125 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2009-11-19 - 2009-11-20 |
| 開催地（和） | 徳島大学（常三島キャンパス・工業会館） |
| 開催地（英） | Univ. of Tokushima (Josanjima Campus, Kogyo-Kaikan) |
| テーマ（和） | 窒化物及び混晶半導体デバイス |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2009-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GaN系表面ナノ構造光検出器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | GaN Photodetector with Nanostructure on Surface |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / GaN |
| キーワード(2)（和/英） | / nanostructure |
| キーワード(3)（和/英） | / photodetector |
| キーワード(4)（和/英） | / Nanoimprint |
| キーワード(5)（和/英） | / Lithography |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 張 晶 / Jing Zhang / チョウ ショウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 徳島大学 (略称： 徳島大) The University of Tokushima (略称： Univ. of Tokushima) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 直井 美貴 / Yoshiki Naoi / ナオイ ヨシキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 徳島大学 (略称： 徳島大) The University of Tokushima (略称： Univ. of Tokushima) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒井 士郎 / Shiro Sakai / サカイ シロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 徳島大学 (略称： 徳島大) The University of Tokushima (略称： Univ. of Tokushima) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 深野 敦之 / Atsuyuki Fukano / フカノ アツユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | SCIVAX会社 (略称： SCIVAX) SCIVAX Corp. (略称： SCIVAX) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 覚 / Satoru Tanaka / タナカ サトル |
| 第5著者 所属（和/英） | SCIVAX会社 (略称： SCIVAX) SCIVAX Corp. (略称： SCIVAX) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-11-19 18:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2009-146, CPM2009-120, LQE2009-125 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.288(ED), no.289(CPM), no.290(LQE) |
| ページ範囲 | pp.85-89 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-11-12 (ED, CPM, LQE) |
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