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| 講演名 | 2009-07-17 10:20 ［招待講演］ナノブリッジのCu配線への埋め込み技術 ○阪本利司・多田宗弘・辻 幸秀・伴野直樹・波田博光（NEC）・青野正和（物質・材料研究機構）  SDM2009-110 ICD2009-26 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2009-110 ICD2009-26 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 133, SDM2009-110, pp. 69-72, 2009年7月. | |
| 資料番号 | SDM2009-110 | |
| 発行日 | 2009-07-09 (SDM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2009-110 ICD2009-26 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2009-110 ICD2009-26 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD SDM |
| 開催期間 | 2009-07-16 - 2009-07-17 |
| 開催地（和） | 東工大 大岡山キャンパス 国際交流会館 |
| 開催地（英） | Tokyo Institute of Technology |
| テーマ（和） | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） | Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2009-07-ICD-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノブリッジのCu配線への埋め込み技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | NanoBridge embedded into Cu interconnect |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阪本 利司 / Toshitsugu Sakamoto / サカモト トシツグ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電気 (略称： NEC) NEC Corporation. (略称： NEC Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 多田 宗弘 / Munehiro Tada / タダ ムネヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本電気 (略称： NEC) NEC Corporation. (略称： NEC Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 辻 幸秀 / Yukihide Tsuji / ツジ ユキヒデ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本電気 (略称： NEC) NEC Corporation. (略称： NEC Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伴野 直樹 / Naoki Banno / バンノ ナオキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本電気 (略称： NEC) NEC Corporation. (略称： NEC Corp.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 波田 博光 / Hiromitsu Hada / ハダ ヒロミツ |
| 第5著者 所属（和/英） | 日本電気 (略称： NEC) NEC Corporation. (略称： NEC Corp.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 青野 正和 / Masakazu Aono / アオノ マサカズ |
| 第6著者 所属（和/英） | 物質材料研究機構 (略称： 物質・材料研究機構) NIMS (略称： NIMS) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-07-17 10:20:00 |
| 発表時間 | 45分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2009-110, ICD2009-26 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.133(SDM), no.134(ICD) |
| ページ範囲 | pp.69-72 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-07-09 (SDM, ICD) |
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