講演抄録/キーワード |
講演名 |
2007-11-02 09:00
小型呼気センシングシステムを目指したSOIハイメサ導波路の伝搬損失低減と高感度化の為の検討 ○亀山康介・松永泰成・浜本貴一(九大) OCS2007-57 OPE2007-112 LQE2007-98 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2007-112 LQE2007-98 |
抄録 |
(和) |
日常的かつ手軽に日々の健康状態を確認するための携行可能な健康診断システムの実現を目指し,光導波路を用いた赤外吸収呼気分析デバイスの試作・検討を行っている.今回,高感度に呼気成分を検知する上での障害となる導波路損失の低減のため,NLD (Magnetic Neutral Loop Discharge) プラズマエッチング法を適用し,SOI基板上にハイメサ導波路を試作した.その結果,通常のRIE (Reactive Ion Etching) 法で製作した導波路と比較し,約50%損失を低減できた.また,ガス検知部に適用する2重ハイメサ導波路について,光気相分布率の更なる向上を目指して検討を行った.導波路幅・導波路間隔をこれまでの設計よりも小さくすることで,光気相分布率89.3%という結果が得られた. |
(英) |
For the development of compact health-check devices, we have researched on breath-sensing system by using infrared absorption spectroscopy. The NLD (Magnetic Neutral Loop Discharge) plasma etching method was exploited for loss reduction to fabricating the high-mesa waveguides on SOI substrate. As a result, about 50% loss reduction was achieved compared to the waveguide fabricated by using conventional RIE (Reactive Ion Etching) method. Moreover, for improvement of the gas-phase light-distribution-ratio, we have improved the structure of multiply arrayed high-mesa waveguide, which is designed to use as sensing waveguides. As a result, high light-distribution-ratio of 89.3% was obtained in the structure of very narrow waveguide spacing of around 65nm with the waveguide with of around 200nm. |
キーワード |
(和) |
光導波路 / SOI基板 / 光集積回路 / 2重ハイメサ導波路 / バイオセンサ / 呼気センサ / / |
(英) |
Optical waveguides / SOI-substrate / Photonic integrated circuit / multiply arrayed high-mesa waveguide / Bio-sensors / Breath-sensor / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 301, OPE2007-112, pp. 81-85, 2007年11月. |
資料番号 |
OPE2007-112 |
発行日 |
2007-10-25 (OCS, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
OCS2007-57 OPE2007-112 LQE2007-98 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2007-112 LQE2007-98 |
研究会情報 |
研究会 |
LQE OPE OCS |
開催期間 |
2007-11-01 - 2007-11-02 |
開催地(和) |
九州工業大学 |
開催地(英) |
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テーマ(和) |
超高速 伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
OPE |
会議コード |
2007-11-LQE-OPE-OCS |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
小型呼気センシングシステムを目指したSOIハイメサ導波路の伝搬損失低減と高感度化の為の検討 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Improvement of SOI-based high-mesa waveguides for compact breath-sensing system |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
光導波路 / Optical waveguides |
キーワード(2)(和/英) |
SOI基板 / SOI-substrate |
キーワード(3)(和/英) |
光集積回路 / Photonic integrated circuit |
キーワード(4)(和/英) |
2重ハイメサ導波路 / multiply arrayed high-mesa waveguide |
キーワード(5)(和/英) |
バイオセンサ / Bio-sensors |
キーワード(6)(和/英) |
呼気センサ / Breath-sensor |
キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
亀山 康介 / Kosuke Kameyama / カメヤマ コウスケ |
第1著者 所属(和/英) |
九州大学 (略称: 九大)
Kyushu University (略称: Kyushu University) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
松永 泰成 / Yasunari Matsunaga / マツナガ ヤスナリ |
第2著者 所属(和/英) |
九州大学 (略称: 九大)
Kyushu University (略称: Kyushu University) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
浜本 貴一 / Kiichi Hamamoto / ハマモト キイチ |
第3著者 所属(和/英) |
九州大学 (略称: 九大)
Kyushu University (略称: Kyushu University) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2007-11-02 09:00:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
OPE |
資料番号 |
OCS2007-57, OPE2007-112, LQE2007-98 |
巻番号(vol) |
vol.107 |
号番号(no) |
no.300(OCS), no.301(OPE), no.302(LQE) |
ページ範囲 |
pp.81-85 |
ページ数 |
5 |
発行日 |
2007-10-25 (OCS, OPE, LQE) |