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講演抄録/キーワード
講演名 2007-09-28 11:30
ガス分離カラムを用いたボールSAWセンサによる多種類ガスの応答解析
岩田尚也佐久間正典辻 俊宏東北大/JST)・赤尾慎吾東北大/凸版印刷/JST)・野口和洋中曽教尊凸版印刷/JST)・沈 東演竹田宣生ボールセミコンダクター)・吹浦 健山武)・山中一司東北大/JSTUS2007-47
抄録 (和) 環境計測やセキュリティーの分野では、多種類の危険・有害ガスを高感度に検知する必要がある。
我々は小型、高感度が特徴であるボールSAWセンサをガスクロマトグラフィ(GC)の分離カラムと組み合わせることにより、携帯可能な多種類ガス検出システムを開発している。
ボールSAWセンサの適応範囲は広げるため、ガス感応膜として従来のPdNi合金膜に加え、ポリイソプチレン(PIB)の膜を製膜し、ボールSAWセンサの応答特性を評価した。
その結果、飽和炭化水素の測定において感度の向上がみられ、多種類ガスセンサに応用できる可能性が高まった。 
(英) In environment and security, it is needed to detect a wide variety of dangerous gases with high sensitivity.
In order to meet this need, we have developed a micro gas chromatograph system with a ball SAW sensor, which is characterized by small size and high performance.
To extend application field of the ball SAW sensor, a PIB sensing film known to have high sensitivity for hydrocarbon was deposited and evaluated in addition to existing PdNi thin film.
As a result, significant responses were observed in hydrocarbon measurement, and the possibility of application of the ball SAW to a multigas sensor was verified.
キーワード (和) ボールSAWセンサ / ガスクロマトグラフ / / / / / /  
(英) ball SAW sensor / gas chromatograph / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 233, US2007-47, pp. 25-29, 2007年9月.
資料番号 US2007-47 
発行日 2007-09-21 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2007-47

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2007-09-27 - 2007-09-28 
開催地(和) 東北大学 
開催地(英) Tohoku Univ. 
テーマ(和) 一般 
テーマ(英) General 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2007-09-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ガス分離カラムを用いたボールSAWセンサによる多種類ガスの応答解析 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Analysis of Ball Surface Acoustic Wave Sensor Response to Wide Variety of Gases Using Gas Chromatography 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ボールSAWセンサ / ball SAW sensor  
キーワード(2)(和/英) ガスクロマトグラフ / gas chromatograph  
キーワード(3)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩田 尚也 / Naoya Iwata / イワタ ナオヤ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 & JST,CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University & JST,CREST (略称: Tohoku Univ./JST,CREST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐久間 正典 / Masanori Sakuma / サクマ マサノリ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 & JST,CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University & JST,CREST (略称: Tohoku Univ./JST,CREST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 辻 俊宏 / Toshihiro Tsuji / ツジ トシヒロ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 & JST,CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University & JST,CREST (略称: Tohoku Univ./JST,CREST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 赤尾 慎吾 / Shingo Akao / アカオ シンゴ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 & 凸版印刷株式会社 & JST,CREST (略称: 東北大/凸版印刷/JST)
Tohoku University & Toppan Printing Co. & JST,CREST (略称: Tohoku Univ./Toppan Printing Co./JST,CREST)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 野口 和洋 / Kazuhiro Noguchi / ノグチ カズヒロ
第5著者 所属(和/英) 凸版印刷株式会社 & JST,CREST (略称: 凸版印刷/JST)
Toppan Printing Co./JST,CREST (略称: Toppan Printing/JST,CREST)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中曽 教尊 / Noritaka Nakaso / ナカソ ノリタカ
第6著者 所属(和/英) 凸版印刷株式会社 & JST,CREST (略称: 凸版印刷/JST)
Toppan Printing Co. & JST,CREST (略称: Toppan Printing/JST,CREST)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 沈 東演 / Dongyoun Sim / シム ドンヨン
第7著者 所属(和/英) ボールセミコンダクタ-株式会社 (略称: ボールセミコンダクター)
BALL Semicinductor Inc. (略称: BALL Semicinductor Inc.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹田 宣生 / Nobuo Takeda / タケダ ノブオ
第8著者 所属(和/英) ボールセミコンダクタ-株式会社 (略称: ボールセミコンダクター)
BALL Semicinductor Inc. (略称: BALL Semicinductor Inc.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 吹浦 健 / Takeshi Fukiura / フキウラ タケシ
第9著者 所属(和/英) 株式会社山武 (略称: 山武)
YAMATAKE Co. (略称: YAMATAKE Co.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 山中 一司 / Kazushi Yamanaka / ヤマナカ カズシ
第10著者 所属(和/英) 東北大学 & JST,CREST (略称: 東北大/JST)
Tohoku University & JST,CREST (略称: Tohoku Univ./JST,CREST)
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講演者 第1著者 
発表日時 2007-09-28 11:30:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2007-47 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.233 
ページ範囲 pp.25-29 
ページ数
発行日 2007-09-21 (US) 


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