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講演抄録/キーワード
講演名 2005-11-17 09:50
小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性
西野 有半谷正毅出尾晋一曽田真之介吉田幸久宮崎守泰三菱電機エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2005-159 MW2005-114
抄録 (和) シリコン基板に金メッキ技術とニッケルを犠牲層としたマイクロマシニング技術を用い,また,接点を駆動するバイアス電圧を高周波線路に重畳させることで,小型化を実現したRF-MEMSスイッチの測定結果については既に報告している。ここでは,このスイッチの高周波特性を表す等価回路を検討し,駆動電極の高周波特性を加味した等価回路を報告する。得られた等価回路は高周波特性を実測値と比較することで,その妥当性を検証した。 
(英) A compact RF-MEMS switch was developed by using micromachining process with plated gold and sacrificial material of nickel. We have already reported the measurement results. In this report, an equivalent circuit model is presented for the compact cantilever type MEMS switch, and the roles of components in the model are discussed. The extracted characteristics have good agreement with the measured results.
キーワード (和) マイクロマシン / アールエフメムス / スイッチ / / / / /  
(英) Micromachining / RF-MEMS / Switch / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 105, no. 401, MW2005-114, pp. 11-14, 2005年11月.
資料番号 MW2005-114 
発行日 2005-11-10 (ED, MW) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034)

研究会情報
研究会 MW ED  
開催期間 2005-11-17 - 2005-11-17 
開催地(和) 佐賀大学 
開催地(英)  
テーマ(和) ミリ波技術/一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MW 
会議コード 2005-11-MW-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) RF characteristics of a compact cantilever type MEMS switch 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) マイクロマシン / Micromachining  
キーワード(2)(和/英) アールエフメムス / RF-MEMS  
キーワード(3)(和/英) スイッチ / Switch  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 西野 有 / Tamotsu Nishino / ニシノ タモツ
第1著者 所属(和/英) 三菱電機 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electric Corp. (略称: Mitsubishi Electric Corp.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 半谷 正毅 / Masatake Hangai / ハンガイ マサタケ
第2著者 所属(和/英) 三菱電機 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electric Corp. (略称: Mitsubishi Electric Corp.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 出尾 晋一 / Shinichi Izuo / イズオ シンイチ
第3著者 所属(和/英) 三菱電機 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electric Corp. (略称: Mitsubishi Electric Corp.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 曽田 真之介 / * /
第4著者 所属(和/英) 三菱電機 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electric Corp. (略称: Mitsubishi Electric Corp.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 幸久 / Yukihisa Yoshida / ヨシダ ユキヒサ
第5著者 所属(和/英) 三菱電機 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electric Corp. (略称: Mitsubishi Electric Corp.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮崎 守泰 / Moriyasu Miyazaki / ミヤザキ モリヤス
第6著者 所属(和/英) 三菱電機 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electric Corp. (略称: Mitsubishi Electric Corp.)
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講演者
発表日時 2005-11-17 09:50:00 
発表時間 25 
申込先研究会 MW 
資料番号 IEICE-ED2005-159,IEICE-MW2005-114 
巻番号(vol) IEICE-105 
号番号(no) no.400(ED), no.401(MW) 
ページ範囲 pp.11-14 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-ED-2005-11-10,IEICE-MW-2005-11-10 


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