電子情報通信学会技術研究報告

Print edition: ISSN 0913-5685      Online edition: ISSN 2432-6380

Volume 115, Number 330

電子部品・材料

開催日 2015-11-26 - 2015-11-27 / 発行日 2015-11-19

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目次

CPM2015-103
RF窒素プラズマを用いた表面窒化によるα-(AlGa)2O3上AlGaN形成に関する検討
○荒木 努・武馬 輝・増田 直・名西やす之(立命館大)・織田真也・人羅俊実(FLOSFIA)
pp. 1 - 4

CPM2015-104
微傾斜角度の異なるc面サファイア基板上へのAlN成長とN2-COアニール
○鈴木周平・林 家弘・三宅秀人・平松和政(三重大)・福山博之(東北大)
pp. 5 - 9

CPM2015-105
AlN/Sapphire基板を用いたRF加熱式HVPEによるAlN成長
○安井大貴・三宅秀人・平松和政(三重大)・岩谷素顕・赤崎 勇(名城大)・天野 浩(名大)
pp. 11 - 14

CPM2015-106
酸性アモノサーマル法合成GaN種結晶上にハイドライド気相エピタキシャル成長させたm面自立GaN基板の電気的・光学的特性
○小島一信(東北大)・塚田悠介(三菱化学)・古川えりか・斉藤 真(東北大)・三川 豊・久保秀一・池田宏隆・藤戸健史(三菱化学)・上殿明良(筑波大)・秩父重英(東北大)
pp. 15 - 19

CPM2015-107
ホール効果測定による低濃度Mgドープp型GaNの正孔キャリア密度および移動度の解析
○堀田昌宏(京大)・高島信也・田中 亮・松山秀昭・上野勝典・江戸雅晴(富士電機)・須田 淳(京大)
pp. 21 - 25

CPM2015-108
ホール効果測定によるホモエピタキシャル成長低Siドープn型GaNの電気的特性評価
○澤田直暉(京大)・成田哲生・加地 徹・上杉 勉(豊田中研)・堀田昌宏・須田 淳(京大)
pp. 27 - 32

CPM2015-109
ホモエピタキシャル成長n型GaNショットキーバリアダイオードの光電流の波長依存性
○前田拓也(京大)・岡田政也・山本喜之・上野昌紀(住友電工)・堀田昌宏・須田 淳(京大)
pp. 33 - 37

CPM2015-110
1.6kV大電流GaNトレンチ型ハイブリッドジャンクションダイオードの開発
○梶谷 亮・半田浩之・宇治田信二・柴田大輔・小川雅弘・田中健一郎・石田秀俊・田村聡之・石田昌宏・上田哲三(パナソニック)
pp. 39 - 42

CPM2015-111
[招待講演]AlNテンプレート上Si添加高AlNモル分率AlxGa1-xN多重量子井戸の時間空間分解陰極線蛍光分光評価
○秩父重英(東北大)・三宅秀人・平松和政(三重大)
pp. 43 - 48

CPM2015-112
光音響・発光同時計測法及び時間分解発光計測によるGaNの輻射・非輻射再結合寿命の測定
○河上航平・中納 隆・山口敦史(金沢工大)
pp. 49 - 52

CPM2015-113
光音響・発光同時計測法を用いたGaNの内部量子効率の測定
○中納 隆・河上航平・山口敦史(金沢工大)
pp. 53 - 58

CPM2015-114
多波長励起発光分離法を用いたInGaN薄膜のラマン散乱分光
○石戸亮祐・石井良太・船戸 充・川上養一(京大)
pp. 59 - 62

CPM2015-115
アルミニウムを用いたプラズモニクスの発光増強応用
○岡本晃一・立石和隆・川元 駿・西田知句・玉田 薫(九大)・船戸 充・川上養一(京大)
pp. 63 - 68

CPM2015-116
Temperature-controlled atomic layer deposition of GaN using plasma-excited nitrogen source
○P.Pungboon Pansila・Kensaku Kanomata・Bashir Ahammad・Shigeru Kubota・Fumihiko Hirose(Yamagata Univ)
pp. 69 - 72

CPM2015-117
ALDにより成膜したHfO2を用いたAlGaN/GaN MIS-HEMTの界面準位とデバイス特性
○西野剛介・久保俊晴・江川孝志(名工大)
pp. 73 - 76

CPM2015-118
Si基板上AlGaN/GaN HEMT構造における縦方向リーク電流の初期AlN層依存性
○山岡優哉(大陽日酸)・伊藤和宏(名工大)・生方映徳・田渕俊也・松本 功(大陽日酸)・江川孝志(名工大)
pp. 77 - 80

CPM2015-119
GaN系THz-QCLの最近の進展
○寺嶋 亘・平山秀樹(理研)
pp. 81 - 84

CPM2015-120
無極性a面AlGaN/AlNの高温成長と深紫外発光特性
○定 昌史・平山秀樹(理研)
pp. 85 - 88

CPM2015-121
m面サファイア上AlGaN/AlNの結晶成長と光学特性
○大島一晟(埼玉大/理研)・定 昌史・前田哲利(理研)・鎌田憲彦(埼玉大)・平山秀樹(理研)
pp. 89 - 93

CPM2015-122
表面保護膜形成によるInGaN系太陽電池の特性改善
○加畑智基・堤 達哉・三好実人・江川孝志(名工大)
pp. 95 - 99

CPM2015-123
スマートスタック技術による多接合太陽電池の接合界面評価
○野中翔一郎・古川昭雄(東京理科大)・牧田紀久夫・水野英範・菅谷武芳・仁木 栄(産総研)
pp. 101 - 104

CPM2015-124
GaAs/GaAs接合の電気特性に対するアニール効果
○柴 麗・梁 剣波・重川直輝(阪市大)
pp. 105 - 110

CPM2015-125
表面活性化ボンディング法に依るSi/SiC接合の電気特性
○林 朋宏・梁 剣波(阪市大)・新井 学(新日本無線)・重川直輝(阪市大)
pp. 111 - 115

注: 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり,推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります.


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