低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集の発行にあたって
松村正清 ……………………………………………………………………………………………………………………
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招待論文
CWラテラル結晶化（CLC）技術による移動度500cm2/Vsを超える新低温ポリSi
TFT技術
佐々木伸夫 原 明人 竹内文代 菅 勝行 竹井美智子 吉野健一 千田 満
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TFTの高性能化
野口 隆 ………………………………………………………………………………………………………………………
609
反応性熱CVD法による多結晶Si1?xGex薄膜の低温堆積とTFTへの応用
清水耕作 張 建軍 半那純一 ………………………………………………………………………………………………616
特集論文
シリコン薄膜の振幅・位相制御エキシマレーザ溶融再結晶化法―新しい2-D位置制御大結晶粒形成法―
井上弘毅 中田 充 松村正清 ………………………………………………………………………………………………624
エキシマレーザアニールpoly-Si膜におけるレーザ照射雰囲気と照射回数が表面モフォロジーに与える影響
菅 勝行 千田 満 原 明人 三島康由 佐々木伸夫 ……………………………………………………………………630
電流加熱結晶化法によるシリコン薄膜の結晶化
安藤伸行 大北圭介 鮫島俊之 ………………………………………………………………………………………………639
金属インプリント法による結晶粒位置制御と単結晶Si薄膜トランジスタへの応用
牧平憲治 吉井栄仁 浅野種正 ………………………………………………………………………………………………644
ラマン分光を用いたTFT-LCD用ポリシリコンの評価
北原邦紀 野木博行 山?亮介 長友正文 ……………………………………………………………………………………651
エキシマレーザアニーリングにより形成された多結晶シリコンの成長様式―グレーン形状と水素の関係についての検討―
河本直哉 松尾直人 阿部 寿 宮井良雄 浜田弘喜 ………………………………………………………………………659
光酸化膜とSiH4とN2OガスからのPECVD膜を積層した低温多結晶Si薄膜トランジスタ用ゲート絶縁膜
中田行彦 岡本哲也 糸賀隆志 浜田敏正 石井 裕 ………………………………………………………………………666
多結晶シリコン薄膜トランジスタの絶縁膜?シリコン界面と結晶粒界のトラップ準位の抽出
木村 睦 野澤陵一 井上 聡 下田達也 Basil On-Kit Lui Simon Wing-Bun
Tam Piero Migliorato …………………673
低温poly-Si TFTのホットキャリヤ効果による相互コンダクタンス，及びしきい値電圧の劣化―LDD構造，及びSD（シングルドレーン）構造TFTの比較―
丹呉浩侑 今井義浩 佐藤利文 日下部陽子 山家郁恵 ……………………………………………………………………684
低温poly-Si TFTを用いた液晶ドライバ用増幅器のオフセットキャンセル技術
橋戸隆一 鈴木昭弘 岩田明彦 井上満夫 ……………………………………………………………………………………692
〔特集レター〕
エキシマレーザアニーリング時におけるディスク形状多結晶Si粒の形成
松尾直人 納田朋幸 河本直哉 田口亮平 宮井良雄 浜田弘喜 ……………………………………………………………700
論 文
〔電磁界理論〕
適応解像度をもつ時間?周波数解析法による電磁波散乱応答の分析について
西本昌彦 生野浩正 ………………………………………………………………………………………………………………704
アトムモデルによる3次元散乱解析
細野裕行 細野敏夫 ………………………………………………………………………………………………………………712
4端子トンネル接合内の量子ドットによるスイッチング機能
雨宮克樹 植田 毅 …………………………………………………………………………………………………………………720
〔光エレクトロニクス〕
階段型屈折率分布アレー導波路を用いた1.55μm帯光偏向器に関する理論解析
三木一憲 川北泰雅 木原達哉 下村和彦 ………………………………………………………………………………………728
〔マイクロ波，ミリ波〕
高抵抗Si基板を用いた2GHz帯SOI低雑音増幅器
吉増敏彦 アルベルト O．アダン 丹波憲之 東 賢一 福見公考 ………………………………………………………………737
〔電子材料〕
点電流源を有する抵抗膜の電位分布と電極への電流配分
金川 誠 ………………………………………………………………………………………………………………………………745
〔電子ディスプレイ〕
カラーCRTにおけるラスタモアレコントラスト低減のための空間周波数解析を用いた電子ビームプロファイルの最適化
井上哲彦 白井正司 奥健太郎 戸辺明良 御子柴茂生 …………………………………………………………………………754
〔記録・記憶技術〕
記憶装置におけるロングディスタンス符号の訂正能力評価
宮崎道生 重松和男 泉田守司 ……………………………………………………………………………………………………765
レター論文
Zn拡散濃度プロファイルの理論的及び実験的検討
川面英司 水野和雄 内田靖二 河野健治 ………………………………………………………………………………………774
同軸線路による液晶のマイクロ波帯誘電特性の評価
鴨田浩和 九鬼孝夫 藤掛英夫 野本俊裕 ………………………………………………………………………………………776
レター論文著者紹介………………………………………………………………………………………………………………… 778
レター
強誘電体の非線形性を利用した荷重検出
田中秀登 松瀬勇太 深海龍夫 ……………………………………………………………………………………………………779
英文論文誌紹介（IEICE Transactions on Electronics）……………………………………… ……………………………………782
複写される方へ…………………………………………………………………………………………… …………………………784
NEWS LETTER ……………………………………………………………………………………………………………………… 後付