電子情報通信学会会誌
Vol.85 No.7 pp.496-503 2002年7月 |
藤田博之 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター |
キーワード:MEMS,マイクロマシン,光スイッチ,波長可変デバイス,可変減衰器,通信
■1. は じ め に このように直接目に触れないところではあるが,マイクロマシンの実用化は,著しい速さで進んでいる.今後,情報通信関係だけでも,データ記録装置,無線通信用デバイス,小型電源,光通信用デバイスなどに応用が期待できる.本稿では,特に光通信用MEMSについて,その特徴,光通信ネットワークでの応用可能性,個別デバイスの例などを解説する.誌面の都合上MEMS技術そのものについては触れないため,成書(1),(2)や解説論文(3)〜(5)を参照して頂きたい. |
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