| No | 140843 |
|---|---|
| 標題（和） | シリサイドブロックとコンタクト抵抗がESD保護素子の発熱に与える影響 |
| 標題（英） | |
| 研究会名（和） | VLSI設計技術 |
| 研究会名（英） | VLSI Design Technologies |
| 開催年月日 | 2002-10-01 |
| 終了年月日 | 2002-10-01 |
| 会議種別コード | 2 |
| 共催団体名（和） | シリコン材料・デバイス研究会，応用物理学会；シリコンテクノロジー分科会，モデリング研究会 |
| 資料番号 | VLD2002‐79 |
| 抄録（和） | |
| 抄録（英） | |
| 収録資料名（和） | 電子情報通信学会技術研究報告 |
| 収録資料の巻号 | Vol.102No.345 |
| ページ開始 | 37 |
| ページ終了 | 42 |
| キーワード（和） | |
| キーワード（英） | |
| 本文の言語 | JPN |
| 著者（和） | 川島博文 |
| 著者（ヨミ） | |
| 著者（英） | |
| 所属機関（和） | 東芝 |
| 所属機関（英） | |
| 著者（和） | 松橋豊明 |
| 著者（ヨミ） | |
| 著者（英） | |
| 所属機関（和） | 東芝 |
| 所属機関（英） | |
| 著者（和） | 松沢一也 |
| 著者（ヨミ） | |
| 著者（英） | |
| 所属機関（和） | 東芝 |
| 所属機関（英） |