第18回研究会   
　　シリコンフォトニクスファウンドリユーザー及び      
　　ポテンシャルユーザーズフォーラム

主催：シリコン・フォトニクス時限研究専門委員会
委員長：西山 伸彦 (東京工業大学)
副委員長：中村　隆宏　(技術研究組合　光電子融合基盤技術研究所（PETRA))

日時：2013年1月16日(水)15:00 ～ 1月17日(木)15:00
場所：【1月16日(水)】つくばグランドホテル （Webリンク: http://tsukuba-grandhotel.co.jp/）
　　　　（アクセスマップはこちら） つくば駅より約30分 送迎バスあり1)
　　　　【1月17日(木)】産業技術総合研究所　つくば西　西7-Aスーパークリーンルーム棟 5階大会議室
　　　　（アクセスマップはこちら） 3ページ目「つくば西」の西7-Aの建物　（産総研連絡便バスあり）2)

後援：技術研究組合光電子融合基盤技術研究所（PETRA)

協賛：集積光デバイスと応用技術時限研究専門委員会 （IPDA)
　　　 光エレクトロニクス研究専門委員会(OPE）
　　　 レーザ・量子エレクトロニクス研究専門委員会(LQE)
　　　 IEEE Photonics Society (旧LEOS) Japan Chapter


今回は「シリコンフォトニクスファウンドリユーザー及びポテンシャルユーザーズフォーラム」と題し研究
会を開催いたします。泊りがけでシリコンフォトニクスファウンドリユーザーやサービス提供者の観点
から、各分野の第１線でご活躍の講師の方々にご講演いただきます。１日目夜にはランプセッションを
開催し、使ってみたいけどまだやったことがないといった将来のユーザーの意見にも耳を傾け、議論
することを検討しています。通常の研究会と異なり、みなさんで議論し、掘り下げていきましょう。
また、２日目には場所を産総研に移し、スーパークリーンルームの見学も予定しています。


プログラム： PDFはこちら(講演プログラム)

1月16日(水）：つくばグランドホテル
-14:00 TXつくば駅に集合（送迎バス利用の方）1)
(移動）
15:00-15:05 開会挨拶
15:05-15:35 馬場　俊彦（横浜国立大学）
シリコンフォトニクスにおけるファウンダリサービス利用のイロハ
15:35-16:05 小川　憲介（フジクラ）
海外研究開発機関との連携によるシリコン光変調器開発
16:05-16:35 中村　滋（NEC）
試作ファウンダリを活用したシリコン光スイッチの開発
16:35-17:05 堀川　剛（産業技術総合研究所）
先端CMOS技術によるシリコンフォトニクス開発の展開
17:05-18:30 休憩、入浴等
18:30-19:30 夕食
19:30-21:30 ランプセッション
「シリコンフォトニクスファウンダリの経験談、疑問、問題点そして今後を語ろう」

1月17日(水）：産業技術総合研究所
9:00 送迎バス　ホテル出発（全日程参加の方）
9:33 産総研連絡便バス　TXつくば駅発（17日のみ参加　連絡バス利用の方）2)
(移動）
10:00-10:10 昨日のまとめ
10:10-10:40 宮本　恭幸（東京工業大学）
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムによる設備共用の取り組み
10:40-11:10 井谷 俊郎（EUVL基盤開発センター）
EUV露光技術の現状と展望
11:10-11:40 中山　敬三（イー・シャトル）
CMOSシャトルサービスの現状
11:40-12:10

三原　孝士（マイクロマシンセンター）
大面積MEMSおよび微細ナノマイクロシステムを実現する、8/12インチ研究拠点を用いたMNOICの研究支援
12:10-13:30

昼食（弁当支給）
13:30-15:00 産総研SCR見学会
　　　(敬称略）

最新情報につきましては、随時ご覧のWEBページを更新いたしますので、ご注意いただけると
幸いです。

参加申し込み

参加は事前申込制となっておりますので、12月26日(水)までにお申し込みをお願いいたします。

参加費：全日程参加（宿泊費、３食、会議費込）　　　　　　　一般16,000円　学生13,000円
　　　　　会議のみ参加宿泊無（夕食＆昼食、会議費込）　 一般12,000円　学生 9,000円
　　　　　17日のみ参加（昼食、会議費込）　　　　　　　　　　 一般 3,000円　学生　無料

問合せ

下記幹事まで御連絡ください。

幹事e-mail: siph-kanji2@mail.ieice.org
秋山　傑（PETRA）
諸橋 功（NICT)
雨宮 嘉照（広島大)
庄司 雄哉（東工大)


1)つくばグランドホテルへのアクセスは、TXつくば駅から送迎バスがあります。（申込者には集合
 場所を別途連絡します。）
2)17日のみ参加される方は、TXつくば駅から会場までの連絡バスがご利用できます。
 産総研アクセスマップ 2ページ目の「産総研連絡便バス」乗降場所の乗り場Bにて、「EIDEC-LEAP」と
 表示されたバス（9：33発）にお乗りください。但し席数に限りがありますので、予めご了承ください。