| 2013年 | |||||||
| 開催月 | 開催日 | テーマ | 研究会報告 | 開催地 | 担当委員（サブ）敬称略 | 共催 | 投稿〆切 |
| 4月 | 4月25-26日 | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 | 屋久島 | 佐道，野口，浅野 | 終了 | ||
| 5月 | 5月16-17日 | 結晶成長、評価及びデバイス（化合物、Si、SiGe、電子・光材料） | 静岡大 | 岡田，木本，佐々木 | ED, CPM | 終了 | |
| 6月 | 6月18日 | ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術（応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催） | 機械振興会館 | 宮崎，西岡 | 応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 6月 | 6月26-28日 | AWAD 2013 (2013 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices) | 韓国 | 大野 | ED | ||
| 8月 | 8月1-2日 | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用（集積回路研究会との合同開催） | 金沢大学 | 川中，松田，平本 | ICD | 終了 | |
| 9月 | 休会 | ||||||
| 10月 | 10月17-18日 | プロセス科学と新プロセス技術 | 東北大 | 黒田，大見，山口 | 終了 | ||
| 11月 | 11月14-15日 | プロセス・デバイス・回路 シミュレーションおよび一般 | 機械振興会館 | 国清，安斎 | 応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 12月 | 12月13日 | シリコン関連材料の作製と評価 | 奈良先端科技大 | 冬木，木本，松尾 | 終了 | ||
| 2014年 | |||||||
| 開催月 | 開催日 | テーマ | 研究会報告 | 開催地 | 担当委員（サブ）敬称略 | 共催 | 投稿〆切 |
| 1月 | 1月29日 | ＩＥＤＭ特集（先端ＣＭＯＳデバイス・ プロセス技術） | 機械振興会館 | 高橋，杉井，小野 | 応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 2月(1) | 2月27-28日 | 機能ナノデバイスおよび関連技術 | 北大 | 池田，小野 | ED | 終了 | |
| 2月(2) | 2月28日 | 配線・実装技術と関連材料技術 | 機械振興会館 | 平野，宇佐美 | 応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
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